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發(fā)布日期:2022/4/15 訪(fǎng)問(wèn)次數:461
無(wú)塵室的浮游微粒子濃度,若用高性能的送風(fēng)系統即可達到零水平,然而實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,故造成了元件清潔面的粒子污染。廣州市佰倫凈化的小蘇(微信號13570963006)整理了這幾年來(lái)關(guān)于無(wú)塵室相關(guān)的管理經(jīng)驗給大家整理了這篇文章參考:
無(wú)塵室內如何控制微粒子濃度呢?
1、 不攜入 :人、機、料進(jìn)無(wú)塵室不攜入微粒子
(1)進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等, 再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋,高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完畢才能進(jìn)入無(wú)塵室。
(2)機器、材料進(jìn)無(wú)塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養后用超純水擦拭,經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無(wú)塵室。
(3)無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過(guò)濾器的排氣用小型過(guò)濾單元于腰間。
2、不發(fā)生 :無(wú)塵室內動(dòng)態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制;
在控制最大污染源--人在無(wú)塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會(huì )造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì )有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策:
(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài);
(2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
(3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
3、不儲備:
現實(shí)中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動(dòng)(動(dòng)態(tài)),無(wú)塵室要想達到動(dòng)態(tài)潔凈級別,因此“不儲備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì )依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩定的氣流會(huì )使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著(zhù),通常在無(wú)塵室內會(huì )使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn) 行除電。
4、排除/除去
在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無(wú)塵室內產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:
由于導入同量的外氣是必要的,但會(huì )伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無(wú)塵室外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內之對策。
原文來(lái)源:廣州佰倫凈化 http://www.bacclean.com/