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發(fā)布日期:2022/4/15 訪(fǎng)問(wèn)次數:509
如果風(fēng)機或者航天器上的某個(gè)芯片不是在嚴格的無(wú)塵條件下生產(chǎn)的,其性能會(huì )受到影響,會(huì )產(chǎn)生不可預想的一系列反應,產(chǎn)生出巨大的“蝴蝶效應”,進(jìn)而誘發(fā)出難以想象的災難。
潔凈室主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,使產(chǎn)品能在一個(gè)溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。按照國際慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,這個(gè)標準里面的灰塵顆粒已經(jīng)非常少了,但是對于光學(xué)構造而言,一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,產(chǎn)生“蝴蝶效應”。因此在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上要求更加嚴格。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
1、空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設施內沒(méi)有操作人員操作的設備。
2、靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒(méi)有操作人員。
3、動(dòng)態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設備和人員;如果需要,可以從事正常的工作。
1、天花板系統,包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。
2、空調系統,包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。
3、隔墻板(Partitional wall),包括窗戶(hù)、門(mén)。
4、地板,包括高架地板或防靜電舒美地板。
5、照明器具,包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構造,必須滿(mǎn)足如下之條件:不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著(zhù)粒子;吸濕性??;為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。
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